Isolast® PureFab™ 系列在具有侵蝕性的前端製程中,提供最佳的性能。(包括沉積、蝕刻、灰化/剝離、電漿清洗和熱處理(如原子層沉積))。
該系列包括先進的全氟橡膠材料 (FFKM),具有獨特的特性,包括高溫穩定性、高純度、極低的金屬含量和出色的抗電漿性。這導致在高真空條件下,能減少顆粒產生和超低釋氣,使客戶能夠延長其產品維護週期,同時提高製程產量。
為確保產品的純度,所有 Isolast® PureFab™ 密封件均在 Class 100 (ISO5) 無塵室環境中生產和包裝。
特瑞堡密封系統提供獨特且突出的材料系列,以應對化工製程、系統位置和工具複雜性:
Isolast® PureFab™ 系列中的其他材料:
產品: